2025年,原位先进器件研究中心李晓梅副教授、郁哲博士后、董作院博士后获批3项国家自然科学基金项目。
原位先进器件团队在后摩尔时代,紧跟国际半导体器件路线图(ITRS)、围绕国家战略、集成电路重大需求,一方面,在“先进器件持续缩微“路线上,面向28nm/14nm/3nm工艺代器件,采用原位表征技术,结合EDA的MSCO“材料-器件-芯片-系统协同技术”,开展材料-器件可靠性的研究;另一方面,在“超越摩尔先进器件”路线上,采用原位感知技术,面向极端环境,尤其是医疗场景中需要植入式、柔性电子器件的环境,开展芯片-系统级可靠性研究。
近年来,国家自然科学基金申请数量屡创新高,竞争愈发激烈,研究中心老师仍能年年中榜,在众多项目中脱颖而出,这是对老师们在科研领域的专业能力和创新精神的一种肯定。团队将继续支持各项目负责人在相应的研究方向上展开深入探索,助推项目顺利开展,预祝取得丰硕的科研成果,为集成电路可靠性方向高质量发展贡献力量。